Оборудование для быстрого отжига RTP

Классификация:

Печь для быстрого отжига

Технические характеристики

Печь для быстрого отжига - это разновидность оборудования для термообработки полупроводников, которое использует инфракрасное тепловое излучение для осуществления быстрого нагрева. Полупроводниковая кремниевая пластина, расположенная в технологической полости, быстро нагревается с помощью модуля управления мощностью источника тепла типа светового излучения и специальной группы ламп для реализации стабильного процесса нагрева

• Высокая точность контроля температуры и хорошая повторяемость
• Очистка технологической камеры
• Пользователи могут настраивать технологический газ в соответствии со своими требованиями и могут настраивать до 6 каналов подачи газа
• Компьютерное автоматическое управление технологическим процессом
• Размер образца: 2-6 дюймов
• Скорость повышения и понижения температуры: контролируемая 0-100 ° c / с