Система EPEE 550 PECVD

Серия EPEE 550 в основном используется для процессов осаждения тонких диэлектрических пленок размером от 2 до 8 дюймов. Она имеет одну реакционную камеру и многочиповую архитектуру. Она отличается большой производственной мощностью и высокой себестоимостью. Он широко используется в технологии обработки сине-зеленого и красно-желтого света в области светодиодов.

Технические характеристики

• Диск-носитель большой емкости, совместимый с различными размерами пластин.
• Хорошая равномерность нанесения пленки.
• Мощная технология онлайн-очистки, высокая эффективность очистки.
• Опциональная конфигурация высокочастотного и низкочастотного источника питания, регулируемое напряжение пленки.
• Низкая стоимость владения и низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: 8 дюймов и ниже.

Применимые материалы: оксид кремния, нитрид кремния, нитрид нитридокремния.

Применимый процесс: защитный слой, маскирующий слой, текущий блокирующий слой.

Применимая область применения: полупроводниковые дисплеи и освещение, области научных исследований.