Система распыления PVD ITO серии iTops

Система распыления iTops в основном используется для процессов осаждения ITO диаметром 4, 6 и 8 дюймов. Система состоит из 1 модуля передачи, 4 технологических модулей, вспомогательного оборудования и силового шкафа. Эта машина представляет собой многокамерное оборудование. Платформа 6К может быть оснащена различными технологическими камерами и может использоваться с загрузочной машиной для автоматизации производства.

Технические характеристики

• Выполненный в виде лотка, он совместим с вафлями диаметром 2/4/6 дюймов.
• Температура процесса находится в диапазоне от 0 до 700℃.
• Простая конструкция, простота в эксплуатации и обслуживании.
• Стабильная работа оборудования и низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: 2, 4, 6 дюймов.

Применимые материалы: оксид индия и олова.

Применимый процесс: текущий уровень расширения ITO.

Применимая область применения: полупроводниковое освещение.