Система HORIS P12 PECVD

Система HORIS P12 PECVD в основном используется для нанесения покрытия на фотоэлектрические элементы диаметром 156 мм и выше. Оборудование имеет многотрубную конструкцию, и каждая трубка может обрабатываться отдельно. Оборудование в основном включает в себя систему автоматической загрузки и разгрузки, систему реакционной камеры, систему контроля вакуума, систему нагрева, систему горизонтальной передачи, систему электрического управления и другие компоненты. Технологический модуль в основном используется для антиотражающего пассивационного слоя батареи, пассивационного слоя, полиэфира. Слой и легирование. Получение элементов.

Технические характеристики

• Оснащен автоматической системой загрузки и разгрузки, имеет богатый опыт работы с интерфейсом MES.
• Высокоточный контроль температуры, оперативная настройка процесса, высокая согласованность и стабильность результатов процесса.
• Функция многократного предупреждения для повышения удобства обслуживания и безопасности.
• Графитовая система управления резервированием лодок для обеспечения точного управления лодкой.
• С помощью различных быстрых и высококачественных технологий нанесения покрытий, таких как многослойная композитная пленка/многослойный полимер и т.д.

Применимый размер кремниевой пластины: 156 мм~230 мм.

Грузоподъемность: 432~780 штук/лодка.

Количество автономных трубок: 5, 6, 10, 12 трубок /система.

Тип процесса: нитрид кремния, оксид кремния, оксид алюминия, поли, легирование, отжиг и т.д.

Диапазон температур: 150～650℃.

Применимая область применения: новая фотоэлектрическая энергия.