Трубчатое оборудование для химического осаждения из паровой фазы HORIS L12 низкого давления

Система HORIS L12 LPCVD.

Трубчатые LPCVD серии HORIS L12 в основном используются для процессов создания ультратонких туннельных оксидных слоев и тонких полипленочных фотоэлектрических элементов TOPCon размером 156 мм и выше. Оборудование имеет многотрубную структуру, и каждая трубка может обрабатываться отдельно. Оборудование в основном включает в себя системы загрузки и разгрузки, системы реакционных камер, системы контроля вакуума, системы отопления, системы горизонтальной передачи, системы электрического управления и другие компоненты. Главный технологический модуль используется для формирования туннельного оксидного слоя на задней стороне аккумулятора, через который могут избирательно проходить носители, что помогает увеличить напряжение открытия аккумулятора и достичь цели повышения эффективности аккумулятора.

Технические характеристики

• Многоканальный способ забора воздуха и конструкция с двойным равномерным потоком спереди и сзади обеспечивают равномерность процесса нанесения высококачественной пленки.
• Высокопрочная кварцевая конструкция корпуса и двухслойная герметичная реакционная камера обеспечивают низкие эксплуатационные расходы и сверхвысокий коэффициент использования оборудования.
• Конструкция крупногабаритного механизма переноски и специально модернизированный механизм захвата.
• Использует усовершенствованную систему контроля давления с замкнутым контуром для обеспечения скорости и однородности пленкообразования.
• С использованием различных технологий нанесения покрытий, таких как многослойная композитная пленка и технология легированного поликристаллического кремния.

Применимый размер кремниевой пластины: 156 мм~230 мм.

Грузоподъемность: 1300 ~2860 (с одним пазом и двойной заглушкой) шт/трубка.

Количество автономных трубок: 5, 6, 10, 12 трубок /система.

Тип процесса: оксид кремния, поликремний, поликремний, легированный фосфором, поликремний, легированный бором.

Диапазон температур: 600~1000℃

Применимая область применения: новая фотоэлектрическая энергия.