Горизонтальное оборудование для нанесения непрерывного PVD-покрытия CWP1200/1800

Все катоды продуктов серии CWP установлены горизонтально, а продукты зажимаются на несущей пластине и непрерывно проходят от катода. Оборудование состоит из нескольких наборов модульных вакуумных камер. Камера может быть оснащена функциональными компонентами, такими как плоские катоды или движущиеся плоские катоды, вращающиеся катоды и линейные источники ионов. Она может выполнять ионную очистку и травление поверхности заготовки, для решения различных задач, таких как металлы и металлические соединения. Вакуумное напыление аналогичных материалов.

Технические характеристики

• Модульная конструкция камеры способствует расширению производственных мощностей.
• Многократная очистка и защита оборудования, простота обслуживания и замены.
• Производительность оборудования надежна и стабильна, и оно обеспечивает стабильную работу у заказчика на протяжении многих лет.
• Может обеспечить изоляцию атмосферы, совместимую с металлическим напылением и реакционным напылением соединений.
• Опциональное автоматическое согласование точения для получения двустороннего покрытия заготовок.

Размер подложки: Эффективная ширина 1100/1500/1950/2200 мм.

Однородность толщины пленки: ±5%.

Целевой коэффициент использования материала: Плоский катод: ≥30%.

Динамический плоский катод: ≥60%, вращающийся катод: ≥80%；

Диапазон скоростей ходьбы: 30-1000 мм/мин.