TENESIS X308P представляет собой вертикальную однокамерную трубчатую систему высокой производительности. Технологический процесс достиг высокой степени автоматизации. Система в основном состоит из модулей передачи, технологических модулей, силовых шкафов и других частей.
Технические характеристики
- Высокоточная технология контроля температурного поля.
- Высокая стабильность производительности процесса.
- Высокоинтеллектуальная система самообнаружения.
- Большая производственная мощность.
Размер пластины: 12 дюймов.
Применимые материалы: кремний.
Применимый процесс: окисление сухим кислородом, окисление влажным кислородом, окисление DCE.
Применимая область применения: интегрированная цепь.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
TENESIS X308P 12-дюймовая вертикальная среднетемпературная печь периодического действия большого размера. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support