Eris E120A 8-дюймовая система кремниевой эпитаксии с одной пластиной при атмосферном давлении

Eris E120A в основном используется для 5-, 6- и 8-дюймовых эпитаксиальных процессов кремния. Машина способна выполнять процессы с высокой степенью автоматизации. Система в основном состоит из модуля передачи, модуля технологической камеры, модуля управления и т. д. Среди них технологический модуль является основой завершения процесса эпитаксиального роста кремния, в основном включая систему нагрева, систему камер и систему вращения. Усовершенствованная инфракрасная система контроля температуры может обеспечивать быстрый подъем, падение и стабильность температуры, таким образом. обеспечение повторяемости процесса и надежности оборудования. Стабильность, профессионально спроектированное поле воздушного потока и температурное поле обеспечивают хорошую однородность толщины, однородность удельного сопротивления, нулевые линии скольжения и низкую плотность дефектов эпитаксиальных пластин. Профессиональный модуль передачи обеспечивает хороший контроль частиц, при этом он совместим с пластинами различных размеров и обладает высокой стабильностью процесса.

Технические характеристики

• Небольшая площадь и простота в эксплуатации.
• Пятизонное поле воздушного потока, а также внутренняя и внешняя зоны помогают в разработке системы легирования для достижения высокой производительности процесса.
• Положение охлаждения с несколькими щелями, эффективно повышающее производительность в час.

Размер пластины: 5, 6, 8 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: атмосферная эпитаксия кремния N&P.

Применимая область применения: силовой полупроводник, материал подложки, область научных исследований.