Booster SWA в основном используется в процессе отжига металлических межсоединений 12-дюймовой задней части. Эта машина представляет собой кластерное оборудование с несколькими полостями, способное выполнять полностью автоматическую параллельную обработку. Система в основном состоит из передающего модуля и трех технологических модулей. Технологический модуль в основном используется для процессов после травления и отжига Cu CMP. Он восстанавливает значение K за счет удаления водяного пара, адсорбированного материалом с низким содержанием K. Модуль передачи используется для безопасной доставки пластины на назначенную рабочую станцию.
Технические характеристики
- Профессиональная двухрежимная система отопления с двумя полостями.
- Высокая однородность температур и производственная мощность оборудования.
- Высокоскоростная блокировка загрузки, большая производственная мощность, низкие эксплуатационные расходы.
Размер пластины: 12 дюймов.
Применимый процесс: монолитный отжиг BEOL толщиной менее 40 нм.
Применимая область применения: интегрированная цепь.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Booster SWA Система отжига одиночных пластин. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support