Высокоскоростная машина для нанесения покрытий методом центрифугирования с крышкой, нагревающейся до 200°C

Происхождение продукта: Шэньян, Китай

Пропускная способность: 50 комплектов

Вакуумная машина для нанесения покрытий VTC-100PA-II подходит для полупроводниковых процессов, изготовления кристаллов, оптических дисков, пластин, покрытий на поверхности и т. Д. Его можно использовать для сильнокислотных и сильных щелочных растворов покрытия. Оборудование оснащено двумя вакуумными патронами разных размеров (для стандартных), подобранными в соответствии с размером образца. Оборудование может хранить 12 наборов программ, каждый из которых содержит 6 запущенных этапов.

Технические характеристики

1. Образец фиксируется с помощью вакуумной адсорбции, которая проста в эксплуатации.
2. Степень вакуума может достигать -0,08 МПа.
3. Образцы легко центрируются с помощью инструмента позиционирования, что позволяет снизить вибрацию или вылеты, вызванные несоосностью.
4. Различные патроны могут быть использованы в соответствии со спецификациями образцов, а их замена удобна и проста.
5. Используется 24-вольтовый бесщеточный двигатель постоянного тока, который обладает такими преимуществами, как высокая надежность, высокая адаптивность, простота ремонта и обслуживания, низкий уровень шума, малая вибрация, стабильная работа, быстрый и стабильный запуск, стабильная работа после ускорения, что обеспечивает постоянство и равномерность толщины покрытия.
6. Безмасляный параллельно-штанговый вакуумный насос имеет такие преимущества, как небольшой размер, простая структура, простота эксплуатации, удобство обслуживания, отсутствие загрязнения окружающей среды.
7. Камера изготовлена из полипропиленового материала с более длительным сроком службы для улучшения способности сопротивления химической коррозии и отличной трещины напряжения, и корпус машины принимает литой алюминиевой структуры, которая является прочной и легкой в весе.
8. Нанесение покрытия может осуществляться в атмосфере инертного газа (например, Ar, N2).
9. Английская операционная система
10. Имеет функцию защиты от открытия крышки. Если верхняя крышка открывается во время процесса нанесения покрытия или по его окончании, машина немедленно резко замедляется до остановки.
11. Интерфейс управления использует сенсорный экран плюс одноплатную компьютерную систему управления, а цифровые

Технические параметры 

Стандартные аксессуары

Дополнительные аксессуары

Гарантия

Ограничено одним годом с пожизненной поддержкой (не включая ржавые детали из-за ненадлежащих условий хранения)