Оборудование для лазерного отжига

Продукты для лазерного отжига серии SLD в основном используются при производстве силовых устройств (IGBT, MOSFET) в транспортных и электрических областях для удовлетворения потребностей лазерного отжига с обратной стороны. Среди них оборудование для лазерного отжига SLD500 в основном используется для отжига IGBT на основе кремния, а оборудование для лазерного отжига SLD300 в основном используется для отжига MOSFET на основе карбида кремния.

Технические характеристики

• Высокоточная спортивная платформа

Используя технологию платформы высокоточного литографического станка, он обеспечивает хорошую аппаратную гарантию точного перемещения и позиционирования оборудования для лазерного отжига.

• Превосходная оптическая система

Оптическая система является ядром лазерного отжига. Высокопроизводительные лазеры и вспомогательные оптические компоненты обеспечивают однородность пятна и производительность отжига, а также достигают хороших показателей скорости активации, глубины отжига и однородности сопротивления RS на кристалле.

• Гибкое нанесение подложки

Прецизионная система фокусировки, высокоадаптируемая система передачи и система адсорбции на столе обрабатываемой детали эффективно поддерживают утончение и отжиг кремниевых пластин TAIKO и адаптируются к деформации кремниевых пластин размером до 2 мм.

• Точный контроль теплового эффекта

Используется бюджетное решение для лазерного отжига с низким нагревом, которое одновременно отвечает требованиям высокой температуры (>1400 ℃), требуемой для легированного материала на задней панели, и предельной температуре переднего устройства (<300 ℃).

• Низкая стоимость владения для клиента

Высокая производственная мощность, высокая скорость активации и низкая скорость фрагментации значительно снижают эксплуатационные расходы; обеспечивают индивидуальные решения и высококачественное обслуживание клиентов.

• Богатый опыт применения

Ряд продуктов поступил на вооружение ведущих отечественных полупроводниковых компаний, поддерживая массовое производство различных силовых устройств и развиваясь вместе с заказчиками.