Мишени для распыления из алюминия и скандия (Al, Sc)

Технические характеристики

Наше комплексное предложение мишеней для распыления, источников испарения и других материалов для осаждения представлено на веб-сайте в разбивке по материалам. . Алюминий и скандий (Al (x) Sc (1-x)) выпускаются различных размеров, от R & D до 13,1 ", в качестве мишеней и в виде скрепленных узлов.

По мере перехода к новой эре 5G / 6G, в дополнение к полосе пропускания и скорости передачи данных, другим важным параметром является целостность сигнала, для которой требуется высокое значение добротности. Значение Q связано с пьезоэлектрическими свойствами тонкопленочных материалов, используемых для нанесения. В настоящее время используются сплавы AlSc с различными уровнями Sc, причем более высокое содержание Sc приводит к более высоким пьезоэлектрическим характеристикам. рады предложить мишени для распыления AlSc с содержанием Sc до 43% атомов.