Углеродные (графитовые) (C) мишени для распыления

Технические характеристики

Стандартные углеграфитовые мишени могут быть очень сложными для распыления. Углерод имеет один из самых низких выходов распыления из всех элементов, что объясняется его микроструктурой Sp2, а также анизотропными электрическими характеристиками. Из-за открытых пространств в структурной решетке углерода скорость распыления низкая, а сам процесс занимает очень много времени. Стандартные углеграфитовые мишени обычно изготавливаются методом горячего прессования. Эти мишени, как правило, высокопористые и содержат случайно ориентированные зерна, что приводит к различным локализованным эффектам, способствуя низкому выходу распыляемого материала.

С другой стороны, мишени для распыления пиролитического графита имеют гораздо более высокую направленность и могут обладать способностью распыляться с более высокой скоростью. Мишени из пиролитического графита изготавливаются методом химического осаждения из паровой фазы (CVD) и выращиваются атом за атомом. Полученный материал обладает лучшими тепловыми, электрическими и химическими свойствами. Из-за особенностей процесса осаждения методом CVD пиролитический графитовый материал приближается к теоретической плотности и практически непорист, поэтому выделение газов происходит быстро.

Технические параметры