Технические характеристики
Радиочастотный генератор представляет собой полный комплект плазменного источника питания, он состоит из радиочастотного источника питания, блока согласования импеданса и импеданса измерителя мощности
Он широко используется для радиочастотного распыления, химического осаждения из паровой фазы PECVD, травления реактивными ионами и т.д.
Технические параметры
|
Название продукта |
Радиочастотный генератор |
|
Радиочастотная мощность |
13,56 МГц ±0,005% |
|
Диапазон выходной мощности |
0-500 Вт, регулируемый |
|
Режим работы |
Непрерывная мощность |
|
Дисплей |
ЖК-дисплей |
|
Выходное сопротивление ВЧ |
N-тип, женский, 50 ОМ |
|
Стабильность мощности |
≤2 Вт |
|
Максимальная мощность отражения |
200 Вт |
|
Время отклика |
200 мс |
|
Режим управления |
PLC/RS232/485 |
|
Диаметр трубки |
Φ50, 60, 80, 100 мм |
|
Способ охлаждения |
Принудительное воздушное охлаждение |
|
Размеры |
380*320* 450 мм |
|
Вес брутто |
30 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-RF500 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support