Данное изделие представляет собой небольшую двухтрубчатую печь с раздвижными печами с кварцевой трубкой Φ50 × 1400 мм и уплотнительным фланцем из нержавеющей стали. Максимальная температура прибора может достигать 1200 ℃.
Технические характеристики
Два корпуса печи могут скользить по направляющим для достижения испарения / сублимации сырья и осаждения пленки. Для достижения максимально быстрого нагрева печь можно предварительно разогреть до заданной температуры и переместить в положение для отбора проб. Для максимально быстрого охлаждения печь после нагрева можно переместить на другой конец, что является идеальной печью для недорогой быстрой термической обработки.
В то же время для создания системы TCVD можно выбрать электрические направляющие, систему подачи газа с управлением массовым расходомером (MFC) и плазменный радиочастотный источник питания.
Применение
Устройство может использоваться для получения графена, сульфидов и тому подобного.
Технические параметры
|
Микротрубчатая печь |
Модель |
CY-O1200-50SDM |
|
|
Материал трубы |
Кварц высокой чистоты |
||
|
Диаметр трубы |
50 мм (опционально 60 мм, 80 мм, 100 мм) |
||
|
Длина трубы |
1400 мм |
||
|
Длина камеры печи |
300 мм |
||
|
Длина зоны нагрева |
200 мм |
||
|
Рабочая температура |
0～1100℃ |
||
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
||
|
Режим контроля температуры |
30- или 50-сегментный программный контроль температуры |
||
|
Режим отображения |
Выделите цифровой трубчатый цифровой дисплей |
||
|
Способ герметизации |
вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
||
|
Фланцевый интерфейс |
Соединительный наконечник 1/4 ", соединение KF16/25/40 |
||
|
Вакуум |
4.4E-3Pa |
||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
||
|
Система подачи газа |
Модель |
CY-3F |
|
|
Газовый канал |
3-канальная |
||
|
Измерительный блок |
Измеритель массового расхода газа |
||
|
Диапазон измерений |
Канал A: 0~100 мкм газа H2 |
Примечания: Если вам нужны другие плиты или типы газа, вам необходимо указать это при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа и диапазона газа. |
|
|
Канал B: 0~300 куб. см газа N2 |
|||
|
Канал C: 0~500 куб. см Ar-газа |
|||
|
точность измерения |
±1,0% F.S |
||
|
Устойчивость труб к давлению |
3 МПа |
||
|
Разница в рабочем давлении |
50~300 кПа |
||
|
Соединительная труба |
Нержавеющая сталь 304 |
||
|
Газовый канал |
игольчатый клапан из нержавеющей стали 304 |
||
|
Спецификация интерфейса |
Соединительный наконечник1/4 " для ввода и вывода газа |
||
|
Вытяжная система |
Механический насос |
Роторно-лопастной насос |
|
|
Скорость перекачки |
1,1 Л/С |
||
|
Интерфейс выпуска |
KF16 |
||
|
Измерение вакуума |
Датчик сопротивления |
||
|
Максимальный вакуум |
1.0E-1Pa |
||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
||
|
Интерфейс перекачки |
KF16 |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1200-50SDM |
По запросу |
JoomShopping Download & Support