Высоковакуумная система CVD с одиночной зоной нагрева 1200 ℃ оснащена трехканальным поплавковым расходомером, который может смешивать 1 ~ 3 канала газа для точной подготовки смешанного газа, необходимого для эксперимента. Другой манометр установлен на передней панели поплавкового расходомера для контроля давления газа и давления в смесительном баке.
Технические характеристики
Высоковакуумная система CVD с одиночной зоной нагрева 1200 ℃ состоит из трубчатой печи с одиночной зоной нагрева, трехканального поплавкового расходомера и высоковакуумного молекулярного насоса. Трубчатая печь управляется с помощью прецизионного прибора для ПИД-контроля температуры. Он может редактировать 30-сегментную программу повышения и понижения температуры и имеет функцию защиты от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон трубы печи оснащены цифровым вакуумметром и механическим манометром давления, которые можно использовать для контроля атмосферы в трубе печи. В то же время трубчатая печь управляется с помощью сенсорного экрана высокой четкости true color, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента.
Система оснащена трехканальным поплавковым расходомером, который может смешивать 1 ~ 3 канала газа для точного приготовления смешанного газа, необходимого для эксперимента. Другой манометр установлен на передней панели поплавкового расходомера для контроля давления газа и давления в смесительном баке.
Эта система также оснащена прецизионным молекулярным насосом, который позволяет достигать вакуума на уровне 1,0 E-3pa, что обеспечивает пользователям более чистые и жесткие условия проведения экспериментов, чем обычные механические насосы.
Применение
Подходит для высокотемпературного спекания, отжига металла, контроля качества и т.д. В университетах, научно-исследовательских институтах, промышленных и горнодобывающих предприятиях, особенно для экспериментов CVD, требующих различных сред смешивания газов.
Технические параметры
|
Вакуумная трубчатая печь |
Модель |
CY-O1200-50IT-3F-HV |
|
|
Материал трубки |
Кварц высокой чистоты |
||
|
Диаметр трубки |
50 мм (опционально 60 мм/80 мм/100 мм) |
||
|
Длина трубки |
800 мм |
||
|
Длина камеры печи |
440 мм |
||
|
Длина зоны нагрева |
400 мм |
||
|
Зона постоянной температуры |
200 мм |
||
|
Рабочая температура |
0～1100℃ |
||
|
Точность контроля температуры |
±1℃ |
||
|
Режим контроля температуры |
30- или 50-сегментный программный контроль температуры |
||
|
Режим отображения |
ЖК-дисплей |
||
|
Способ герметизации |
вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 |
||
|
Фланцевый интерфейс |
Соединительный наконечник 1/4 ", соединение KF16/25/40 |
||
|
Вакуум |
4.4E-3Pa |
||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
||
|
Система подачи газа |
Модель |
CY-3F |
|
|
Газовый канал |
3-канальный |
||
|
Измерительный блок |
Поплавковый расходомер газа |
||
|
Диапазон измерения |
Канал: 0~100 мл/мин газа H2 |
Примечания: Если вам нужны другие диапазоны или типы газа, вам необходимо указать при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа и диапазона газа. |
|
|
Канал B: 16~160 мл/мин газа N2 |
|||
|
Канал C: 25~250 мл/мин Ar-газа |
|||
|
Точность измерения |
±2.0% |
||
|
Сопротивление давлению в трубе |
3 МПа |
||
|
Разница в рабочем давлении |
50~300 кПа |
||
|
Соединительная труба |
нержавеющая сталь 304 |
||
|
Регулирующий клапан |
игольчатый клапан из нержавеющей стали 304 |
||
|
Спецификация интерфейса |
Соединительный наконечник 1/4 " для ввода и вывода газа |
||
|
Выхлопная система |
Модель |
CY-GZK103-A |
|
|
Молекулярный насос |
CY-600 |
||
|
Резервный насос |
Роторно-лопастной насос |
||
|
Скорость откачки |
Молекулярный насос: 600Л/с |
Универсальная производительность при перекачке газа: вакуум может достигать 1,0 E-3Pa за 30 минут. |
|
|
Роторно-лопастной насос: 1,1 л/с |
|||
|
Интерфейс перекачки |
KF40 |
||
|
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
||
|
Измерение вакуума |
Составной вакуумметр: датчик сопротивления + ионизационный датчик |
||
|
Максимальный вакуум |
1,0E-5Pa |
||
|
Источник питания |
Переменный ток: 220 В 50/60 Гц |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1200-50IT-3F-HV |
По запросу |
JoomShopping Download & Support