Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева 1200 ℃ с 3-канальным массовым расходомером CY-O1200-50IIT-3Z-HV


Производитель: CY Scientific Instrument, Китай

0 USD

Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева 1200 ℃ оснащена трехканальным массовым расходомером, который обладает высокой точностью и высокой надежностью. Он может точно смешивать 1 ~ 3 канала газа. Панель управления оснащена цифровым дисплеем, который интуитивно понятен и эффективен. При наличии особых потребностей вы можете обратиться к специалисту, чтобы настроить любое количество газовых каналов.

Технические характеристики

Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева 1200 ℃ состоит из двухзонной трубчатой печи, трехканального поплавкового расходомера и высоковакуумного молекулярного насоса. Температура двух зон нагрева трубчатой печи регулируется независимо с помощью прецизионного прибора для контроля температуры. Регулируя температуру каждой температурной зоны, трубчатая печь может формировать два температурных градиента в зоне нагрева или длинную зону постоянной температуры. Каждая зона может быть отредактирована с помощью программы повышения и понижения температуры в 30 разделах с защитой от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон трубы печи оснащены цифровым вакуумметром и механическим манометром давления, которые можно использовать для контроля атмосферы в трубе печи. В то же время трубчатая печь управляется с помощью сенсорного экрана высокой четкости true color, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента.

Система также оснащена прецизионным молекулярным насосом, который позволяет достигать вакуума на уровне 1,0 E-3pa, что обеспечивает пользователям более чистую и строгую экспериментальную среду, чем обычные механические насосы.

Применение

Подходит для высокотемпературного спекания, отжига металла, контроля качества и т.д. В университетах, научно-исследовательских институтах, промышленных и горнодобывающих предприятиях, особенно для экспериментов CVD, требующих различных сред смешивания газов.

Технические параметры

Вакуумная трубчатая печь

Модель

CY-O1200-50IIT-3Z-HV

Материал трубки

Кварц высокой чистоты

Диаметр трубки

50 мм

Длина трубки

1000 мм

Длина камеры печи

440 мм

Длина зоны нагрева

200 мм + 200 мм

Рабочая температура

0~1100℃

Точность контроля температуры

±1℃

Режим контроля температуры

30- или 50-сегментный программный контроль температуры

Режим отображения

ЖК-дисплей

Способ герметизации

вакуумный фланец из нержавеющей стали 304

Фланцевый интерфейс

Соединительный наконечник 1/4 ", соединение KF16/25/40

Вакуум

4.4E-3Pa

Источник питания

Переменный ток: 220 В 50/60 Гц

Система подачи газа

Модель

CY-3Z

Газовый канал

3-канальный

Измерительный блок

Массовый расходомер газа

Диапазон измерения

Канал: 0~100 мкм H2 газа

Примечания: Если вам нужны другие диапазоны или типы газа, вам необходимо указать при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа и диапазона газа.

Канал B: газ N2 0~300 куб. см

Канал C: 0~ 500 куб. см Ar-газа

точность измерения

±1,0% F.S

Сопротивление давлению в трубе

3 МПа

Разница в рабочем давлении

50~300 кПа

Соединительная труба

нержавеющая сталь 304

Газовый канал

игольчатый клапан из нержавеющей стали 304

Спецификация интерфейса

соединительный наконечник 1/4 " f или вход и выход газа

Выхлопная система

Модель

CY-GZK103-A

Молекулярный насос

CY-600

Резервный насос

Роторно-лопастной насос

Скорость перекачки

Молекулярный насос: 600Л/С

Комплексная производительность перекачки газа: за 30 минут может достигать вакуума: 1,0 E-3Pa

Роторно-лопастной насос: 1,1 л/С

Интерфейс перекачки

KF40

Интерфейс выхлопа

KF16

Измерение вакуума

Составной вакуумметр: датчик сопротивления + ионизационный датчик

Максимальный вакуум

1.0E-5Pa

Источник питания

Переменный ток: 220 В 50/60 Гц

 

Модель

Стоимость, доллары США

CY-O1200-50IIT-3Z-HV

По запросу

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support