Высоковакуумная система CVD с одиночной зоной нагрева 1500 ℃ с 3-канальным поплавковым расходомером для подачи газа CY-O1500-60IT-3F-HV

Высоковакуумная система CVD с одиночной зоной нагрева 1500 ℃ оснащена трехканальным поплавковым расходомером, который может смешивать 1 ~ 3 канала газа для точной подготовки смешанного газа, необходимого для эксперимента. Другой манометр установлен на передней панели поплавкового расходомера для контроля давления газа и давления в смесительном баке.

Технические характеристики

Высоковакуумная система CVD с одной зоной нагрева 1500 ℃ состоит из трубчатой печи с одной температурной зоной 1500 ℃, трехканального поплавкового расходомера и высоковакуумного молекулярного насоса. Трубчатая печь управляется с помощью прецизионного прибора для ПИД-контроля температуры. Он может редактировать 30-сегментную программу температуры подъема и имеет функцию защиты от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон трубы печи оснащены цифровым вакуумметром и механическим манометром давления, которые можно использовать для контроля атмосферы в трубе печи. В то же время трубчатая печь управляется с помощью сенсорного экрана высокой четкости true color, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента.

Труба печи изготовлена из высокочистого оксида алюминия, а корпус печи имеет интегрированную конструкцию. Уникальная конструкция обеспечивает стабильность и безопасность системы при температуре 1500 ℃. Нагревательный элемент изготовлен из высококачественного кремниево-углеродного стержня, который может достигать высокой температуры 1500 ℃. При необходимости нагревательный элемент из кремниево-молибденового стержня может быть настроен для достижения более высокой температуры - 1700 ℃.

Система также оснащена прецизионным молекулярным насосом, который позволяет достигать вакуума на уровне 1,0 E-3pa, что обеспечивает пользователям более чистые и жесткие условия проведения экспериментов, чем обычные механические насосы.

Применение

Подходит для высокотемпературного спекания, отжига металла, контроля качества и т.д. В университетах, научно-исследовательских институтах, промышленных и горнодобывающих предприятиях, особенно для экспериментов CVD, требующих различных сред смешивания газов.

Технические параметры