Оборудование для плазмохимического осаждения из паровой фазы с горячим катодом постоянного тока (DCCVD)

Name: Оборудование для плазмохимического осаждения из паровой фазы с горячим катодом постоянного тока (DCCVD)
Availability: InStock

Производитель: CY Scientific Instrument, Китай

0 USD

Оборудование для плазмохимического осаждения из паровой фазы с горячим катодом постоянного тока (DCCVD) разработано на основе обычного тлеющего разряда с холодным катодом и в основном используется для осаждения и выращивания монокристаллов алмаза или поликристаллической пленки.

Технические характеристики

Область применения и основные характеристики

Тлеющий разряд оборудования для плазмохимического осаждения из паровой фазы с горячим катодом постоянного тока можно разделить на четыре области вдоль оси от катода к аноду: слой свечения катода, темная зона Фарадея, плазменный шар свечения положительного столба и слой свечения анода. Среди них катодный тлеющий слой представляет собой тонкий светоизлучающий слой вблизи катода, где происходит мощный волновой разряд, который играет важную роль в процессе тлеющего разряда; темная зона Фарадея является переходной зоной между катодной зоной и зоной положительного столба. Электроны сталкиваются в области катода и теряют энергию, а медленных электронов недостаточно, чтобы вызвать ионизацию и возбуждение, поэтому они представляют собой темную область, которая не излучает свет; тлеющий плазменный шар в области положительного столба находится в наиболее очевидном положении тлеющего разряда, и его ширина составляет около катода, Расстояние между анодами составляет примерно 4/5, а длина изменяется с изменением расстояния между анодом и катодом; по сравнению с яркой областью положительного столба, тлеющий слой анода излучает немного более темный свет.

Горячий катод, высокое давление газа и высокая плотность тока являются основными характеристиками тлеющего разряда с горячим катодом, которые отличаются от обычного тлеющего разряда с холодным катодом. Во время разряда происходит распределение интенсивности свечения, цвета и яркости между электродами, которые разделены на четыре очевидные области. Тлеющий разряд покрывает всю поверхность катода, и напряжение разряда увеличивается с увеличением тока разряда; эмиссия катодных электронов сочетается с тепловой эмиссией и γ-процессом, и степень смещения между ними в основном определяется температурой катода; зона падения катода предназначена для поддержания свечения, являющегося неотъемлемой частью светового разряда, толщина этой области очень тонкая, наблюдается высокое падение потенциала, поэтому напряженность поля в этой области очень высока, и генерируется огромный волновой разряд. Плотность тока при тлеющем разряде с горячим катодом намного больше, чем при тлеющем разряде с холодным катодом.

Технические параметры

Камера для осаждения	Промежуточный слой из нержавеющей стали с водяным охлаждением	Спроектируйте соответствующий размер полости в соответствии с размером электрода, чтобы гарантировать отсутствие разряда между стенкой полости и электродом
	Способ с открытой полостью	Поднимите полость или откройте дверцу спереди, удобную для подъема и очистки
	Обзорное окно	Установите несколько окон наблюдения, чтобы обеспечить наблюдение за катодом, анодом и столом осаждения
Вакуумная система	Вакуумный насос	Вакуум нагнетается механическим насосом, нет необходимости настраивать молекулярный насос
	Максимальный вакуум	0,1 ~1Па
	Время простоя откачки	5 ~15 мин
	Установка вентиляционного отверстия	Обеспечение равномерности откачки
	Диапазон регулировки давления воздуха	0,1 Па ~30 кПа
	Выпускной клапан	Может быть восстановлено в атмосфере
	Вакуумметр	Высокоточный вакуумметр точно измеряет значение давления в полости
Система распределения газа	Конфигурация источника воздуха	5 газовых источников водорода, метана, азота, аргона и кислорода, с дополнительным источником, зарезервированным для резервного копирования
	Регулирование расхода газа	Объемный расход регулируется с помощью MFC, и в зависимости от размера полости выбирается расходомер с подходящим диапазоном. Различные размеры потока влияют на время повышения давления. Как правило, соотношение водород: метан: азот: аргон: кислород составляет 40:1:1:40:1
	Настройка воздухозаборника	Разумная настройка воздухозаборника для обеспечения равномерности подачи воздуха
Система водяного охлаждения	Мощность охладителя воды	Мощность охлаждения и напор охладителя воды должны соответствовать тепловыделению оборудования и расходу охлаждающей воды, а температура должна регулироваться, обычно устанавливаясь на уровне около 20 ° C
	Клапан	Необходимо охладить камеру осаждения, катод и анод, установить водоотделитель и установить ручные клапаны на входе и выходе каждого патрубка водоотделителя.
	Рабочая температура	Рабочая температура анода составляет 600-1100℃, рабочая температура катода составляет 700-1100℃
Мощность	Рабочее напряжение	600 ~ 1200 В, регулируемое выходное напряжение
Мощность	Рабочий ток	6 ~15A
Система управления	1) Регулирование расхода газа; 2) Управление подъемом электрода, отображение расстояния между катодом и анодом в режиме реального времени, точность управления 1 мм; 3) Мониторинг и отображение температуры катода, анода и подложки; 4) Некоторые функции можно регулировать вручную, например, давление воздуха; 5) Сигнализация неисправности для предотвращения неправильной эксплуатации;
Электрод	1) Диаметр анода составляет 60 мм, а материал-медь 2) Диаметр катода составляет 80 ~ 100 мм, а материалом является молибден. После длительного использования углерод легко осаждается на поверхности катода, и разряд нестабилен. Поэтому его необходимо спроектировать как сменную конструкцию; 3) Расстояние между катодом и анодом регулируется, диапазон составляет 10 ~ 60 мм, расстояние отображается в режиме реального времени, а точность регулировки составляет 1 мм; 4) Края катода и анода могут быть закруглены для предотвращения краевого разряда; 5) Анод может иметь отрицательное смещение, а диапазон напряжений смещения составляет 0 ~ 400 В; 6) Кромка электрода изолирована для предотвращения краевого разряда;

Модель	Стоимость, доллары США
Hot cathode direct current plasma chemical vapor deposition equipment (DCCVD)	По запросу

Сопутствующие товары (0)
Отзывов (0)