Устройство Химического осаждения GRABO-W

Применение

WS2, MoS2, графен

Размер подложки и грузоподъёмность

20 мм × 20 мм и 1 образец на партию

Технологическая камера

Трубка из сплава Q’tz
Оболочка из сплава Q’tz для профильной термопары
Коллектор из нержавеющей стали с двойными впускными стержнями для подачи газа и профилирования Т/С
Фланец из нержавеющей стали с водяным охлаждением

Источник нагрева

Диапазон температур: макс. 1000 ℃
Вольфрамово-галогенная лампа и нагреватель для лампы
Корпус нагревателя SUS и водяное охлаждение
Регулятор температуры нагревателя

Газ (MFC)

Ar, H2, CH4, O2 и т. д.

Насос

Роторный насос

Опция

Источник MO, TMP

Контроль

Ручное управление или ПК

Системное измерение

1200 мм (Ш) × 600 (Д) × 1250 (В)

Модель

Стоимость, доллары США

Устройство Химического осаждения GRABO-W

 По запросу