Распылитель TERRA – C

Материалы для нанесения

Оксидные материалы, термостойкие материалы, металлические материалы

Размер подложки

Кусок до 8 дюймов

Выход продукта

1 кассета (25 пластин на партию)

Размер распылительного пистолета

От 4 до 12 дюймов

Номер технологической камеры

До 5 шт. PM

Передаточная камера

Робот-пылесос

Кассетная камера

1 кассета

Мощность плазмы

ВЧ, постоянный ток или импульсный постоянный ток

Контроль давления

Автоматический контроль давления (дроссельный клапан и манометр)

Технологические газы

Ar, O2, N2

Температура в подсостоянии

От комнатной температуры до 450 ℃

Вакуумный насос

TMP или криогенный насос + роторный насос или сухой насос

Предельное давление

< 5,0E-7 Торр

Опция

Вращение подложки, охлаждение подложки, плазменная очистка, максимальная температура подложки 650 °C

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Модель

Стоимость, доллары США

Распылитель TERRA – С

 По запросу