Печь для быстрой термообработки с двумя зонами нагрева и кварцевой трубкой I.D. диаметром 11 дюймов. Предназначена для нанесения пленок PVD или CSS (сублимация с близким расстоянием) диаметром до 3 дюймов или площадью 2 x 2 дюйма. Печь нагревается двумя группами галогенных нагревателей (верхним и нижним) раздельно с максимальной скоростью нагрева. 20ºC/с. Встроены два 30-сегментных прецизионных терморегулятора с точностью +/-1ºC. В комплект поставки входят порт RS485 и управляющее программное обеспечение, позволяющее управлять печью и регистрировать температурный профиль с помощью ПК. Это отличный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечных элементов, таких как CdTe, сульфидные и перовскитные солнечные элементы.
Технические характеристики
CY-1200X-RTP-II представляет собой печь для быстрой термической обработки с двумя зонами нагрева и кварцевой трубкой диаметром 11 дюймов. Предназначена для нанесения пленочных покрытий PVD или CSS (сублимационных покрытий с близкими расстояниями друг от друга) диаметром до 3 дюймов или площадью 2 x 2 дюйма. Печь топится на две группы галогенные нагреватели (сверху и снизу), отдельно с Максом. Скорость нагрева 20 ° с/С. Два 30 сегменте контроллеры температуры точности построены с +/-1 ° с точность. Порт RS485 и управляющее программное обеспечение включены в комплект поставки, что позволяет управлять печью и регистрировать температурный профиль через ПК. Это отличный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечных элементов, таких как CdTe, суфидные и перовскитные солнечные элементы
Технические параметры
|
Конструкция печи & Вакуумная камера
|
Печь, два регулятора температуры, двухканальные расходомеры газа встроены в подвижную раму из алюминиевого сплава Камера изготовлена из трубки из плавленого кварца высокой чистоты Размер кварцевой трубки: 11 "OD / 10,8 " ID x 9 " H Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316 |
|
Вакуумные Фланцы |
Верхний фланец с одним вакуумным отверстием KFD-25 и одним выпуском газа (требуется труба 1/4 дюйма) может подниматься или опускаться вручную для легкой загрузки и выгрузки субстрата и испаряемого материала Нижний фланец имеет одно вакуумное отверстие KFD-25 с одним входом для газа (требуется труба 1/4 дюйма) с игольчатыми клапанами Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать макс. вакуумное давление 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос в комплект не входит, заказывайте отдельно) На верхнем фланце установлен один цифровой вакуумметр. Прецизионный антикоррозионный цифровой вакуумметр предоставляется дополнительно за дополнительную плату |
|
Расходомеры газа
|
Газовый смеситель, встроенный в два поплавковых счетчика с регулируемыми диапазонами измерения: 16-160 мл/м 500-5000 мл/ м (для продувки) |
|
Нагреватель и держатель для образцов
|
Два независимо управляемых нагревателя с регулируемым вручную зазором от 2 до 30 мм 20 шт галогенных ламп используются в качестве нагревательного элемента для быстрой термической обработки. Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной рубашкой охлаждения, что уменьшает тепловое излучение и обеспечивает быстрое охлаждение. 5" dia. круглый держатель для пластин встроен в верхний нагреватель для удержания подложки. В комплект входит один комплект пластин AlN с высокой теплопроводностью (диаметр 5 дюймов x толщина 0,5 мм) (размещайте на обратной стороне подложки, чтобы она нагревалась равномерно). Для экономии воды в комплект поставки входит охладитель рециркулирующей воды объемом 16 л/мин |
|
Регулятор температуры |
Два прецизионных цифровых регулятора температуры с программируемыми 30 сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями Каждый контроллер оснащен функцией автоматической настройки PID для защиты нагревателей от перерегулирования и функцией сигнализации для предотвращения перегрева и разрыва тепловой пары |
|
Рабочая температура Приg |
Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 800ºC Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300ºC зависит от расстояния между двумя нагревателями: Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315ºC только при нагреве снизу |
|
Скорость нагрева и охлаждения |
Нагрев: > 8ºC / с (только для нагрева одним нагревателем) Охлаждение: > 10ºC/с (600-100 °C) Макс. |
|
Термический пар |
Две тепловые пары типа K установлены отдельно на верхнем и нижнем нагревателях |
|
Рабочее напряжение |
208-240 В переменного тока, однофазная, воздушный выключатель 20А |
|
Потребляемая мощность |
Общая мощность 2200 Вт (по 1100 Вт на каждый нагреватель) |
|
Гарантия |
Срок службы ограничен одним годом |
|
Размеры |
1085 мм Д x 680 мм Ш x 1710 мм В |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-1200X-RTP-II |
По запросу |
JoomShopping Download & Support