Технические характеристики
- Инновационная технология, совместимая с 6/8 дюймами и 8/12 дюймами;
- Точный контроль энергии, малая глубина проникновения;
- Линейное плоское верхнее пятно с большим соотношением сторон;
- Технология сверхмалого контроля глубины соединения с низкой глубиной диффузии.
Технические параметры
|
Размер пластины |
6 дюймов, 8 дюймов |
|
Глубина узла |
50 нм |
|
Максимальная глубина диффузии примесей |
5 нм |
|
Неравномерность RS |
2% (внутричиповый/межчиповой) |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
LA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support