Вакуумный антикоррозийный лабораторный компактный отжимной лакировщик

Вакуумная антикоррозийная машина лабораторного типа compact spin coater увеличивает вакуумное уплотнение внутренней камеры. В нем используются внутренняя полость и крышка, выдерживающие давление, чтобы гарантировать, что среда внутренней полости может быть вакуумирована до -0,06 МПа или более под отрицательным давлением для нанесения покрытия.

Технические характеристики

Вакуумная антикоррозионная лабораторная компактная машина для нанесения покрытий с отжимом подходит для нанесения покрытий на такие поверхности, как полупроводники, кристаллы, оптические диски и пластины. Эта машина для нанесения покрытий с отжимом может использоваться для приготовления защитной пленки из растворов сильных кислот и щелочей для нанесения покрытий. Эта машина может вакуумировать камеру лакировочной машины для нанесения покрытия на образец в условиях полного вакуума, что подходит для использования тонкопленочных материалов, которые легко окисляются и портятся на воздухе.

Индекс производительности вакуумной антикоррозийной лабораторной компактной отжимной машины:

Программа отжима покрытия: можно сохранить до 100 наборов программ, каждый набор состоит из 100 шагов, каждый шаг может выполняться с точностью до 0,1 секунды

Скорость вращения: 0-10 000 об/мин (опция для более высокой скорости)

Скорость отжима покрытия: 0-50 000 об/сек (без нагрузки)

Погрешность стабильности скорости нанесения покрытия с помощью двигателя: < ±1 об/мин

Точность и повторяемость регулировки скорости: 1 об/мин

Настройка времени процесса: 0-3000 сек/ шаг, точность настройки времени: 0,1 сек

Поддерживаемый размер пластины: от стружки до 200 мм (8-дюймовая пластина)

Стандартный держатель челюсти в вакуумном режиме

1. Новейшая собственная компактная конструкция уменьшает габариты устройства.
2. Операционная система с сенсорным экраном 2,7 дюйма, более удобная в эксплуатации.
3. Благодаря серводвигателям промышленного класса конструкция двигателя позволяет избежать попадания фоторезиста и других загрязнений в двигатель.
4. Корпус изготовлен из кислото- и щелочестойкой, ударопрочной и коррозионностойкой нержавеющей стали. Он никогда не ржавеет и легко моется.
5. Вытяжная и насосная системы расположены в нижней части ступени (для повышения эффективности выпуска и равномерности отжима покрытия).
6. Прозрачный, видимый, химически стойкий уплотнительный колпачок полностью изолирует просыпание фоторезиста и эффективно изолирует выделение токсичных запахов во время процесса отжима покрытия.