Компактная установка для нанесения покрытия плазменным напылением с сенсорным экраном и тремя поворотными мишенями


Производитель: CY Scientific Instrument, Китай

0 USD

Эта машина представляет собой сертифицированную CE компактную установку для нанесения покрытий плазменным напылением с тремя поворотными мишенями, цифровым контроллером с сенсорным экраном и нагревателем подложки, способным нагреваться до 500℃.

Технические характеристики

Машина для плазменного напыления с тремя поворотными мишенями с нагревателем подложки (500 °C), включающая 3 мишени
Эта машина представляет собой сертифицированную CE компактную машину для плазменного напыления с тремя поворотными мишенями с цифровым контроллером с сенсорным экраном и нагревателем подложки, способным нагреваться до 500 °C. Она может наносить от 1 до 3 типов металлических материалов на образцы диаметром до 50 мм. В комплект поставки входят три мишени для распыления: золото, серебро, медь для немедленного использования.

Технические параметры

Входная мощность

Однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц
700 Вт (включая вакуумный насос)
Для использования 110 В переменного тока мы предоставим вам трансформатор. Пожалуйста, выберите напряжение в настройках изделия

Выходная мощность

1600 В постоянного тока
40 мА макс.

Вакуумная камера

Вакуумная камера: 150 мм в диаметре x 150 мм Вн, изготовлена из кварца высокой чистоты
Уплотнительный фланец из нержавеющей стали с плоским уплотнительным кольцом

Стенд для отбора проб с нагревателем

Размер ступени: диаметр 50 мм.
Диапазон расстояний распыления: 25-40 мм регулируемая
поворотная ступень с тремя положениями распыления (управляется сенсорным экраном)
Встроенный нагреватель подложки обеспечивает максимальную температуру нагрева 500 °C
В сенсорный экран встроен ПИД-регулятор температуры с точностью +/- 1 °C.

Панель управления
 

6-дюймовый цветной сенсорный экран с ПЛК для удобства управления
Вакуумметр, измеритель тока распыления и контроль температуры подложки встроены в панель с сенсорным экраном
Ручки регулировки на передней панели для подачи газа и контроля тока распыления
Положение распыления, таймер распыления и регистрация процесса доступны с сенсорного экрана

Экран

Для дополнительной защиты в комплект входит защитный кожух из нержавеющей стали

Мишени для распыления
 

Требования к размеру мишени: диаметр 47 мм x максимум 2,5 мм
В стандартную комплектацию входят три мишени для немедленного использования:
Мишень Au, диаметр 47 мм x 0,12 мм
Ag-мишень, диаметр 47 мм x 0,5 мм
Cu-мишень, диаметр 47 мм x 2,5 мм

Вакуумный насос
(опция)


 

Встроенный вакуумный порт KF25 для подключения к вакуумному насосу
Требуется вакуумный насос с разъемом KF25, но он не входит в комплект поставки. Пользователь может выбрать
двухступенчатый механический вакуумный насос для создания вакуума до 10 ^ -2 Торр
Или турбонасос для создания вакуума до 10 ^-4 Торр
Вакуумный насос можно подключить к электрической розетке слева от машины для нанесения покрытия для автоматического управления

Размеры

440 мм Д × 330 мм Ш × 455 мм В

Вес нетто

50 кг

 

Модель

Стоимость, доллары США

Touch Screen Compact Three Rotary Target Plasma Sputtering Coater

 

По запросу

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support