Устройство для нанесения покрытия плазменным напылением с тремя поворотными мишенями - это компактное устройство для нанесения покрытия плазменным напылением с тремя поворотными мишенями с цифровым контроллером с сенсорным экраном и нагревателем подложки, способным нагреваться до 500 °C. Он может покрывать 1-3 типа металлических материалов на образец диаметром до 50 мм.В комплект входят три мишени для распыления: золотая, серебряная, медная для немедленного использования.
Технические характеристики
Машина для плазменного напыления 3-х мишеней представляет собой компактную машину для плазменного тонкопленочного напыления (обычного типа постоянного тока). Панель управления работает в режиме сенсорного экрана. Диаметр подложки ограничен 2 дюймами, образец помещается диаметром Ø50 мм, а температура нагрева составляет 500 ℃. 3 Устройство для нанесения плазменного напыления с вращающейся мишенью может распылять золотые, серебряные и медные мишени и не может распылять легкие металлы и углерод. В этой машине используется вращающийся стенд для отбора проб для последовательного нанесения трех слоев на один и тот же образец.Пленка подходит для подготовки образцов в лаборатории.
Технические параметры
|
Потребляемая мощность |
Однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц 700 Вт (включая вакуумный насос) Для использования 110 В переменного тока мы предоставим вам трансформатор. |
|
Выходная мощность |
1600 В постоянного тока, не более 40 мА |
|
Вакуумная камера |
Вакуумная камера: 150 мм ID × 165 мм OD × 150 мм H, изготовлена из кварца высокой чистоты Уплотнительный фланец из нержавеющей стали с плоским уплотнительным кольцом |
|
Стенд для отбора проб с нагревателем |
Размер ступени: диаметр 50 мм. Диапазон расстояний распыления: регулируется от 25 до 40 мм Поворотная ступень с тремя положениями распыления (управляется сенсорным экраном) Встроенный нагреватель подложки обеспечивает максимальную температуру нагрева 500 °C ПИД-регулятор температуры с точностью +/- 1 °C встроен в сенсорный экран |
|
Панель управления |
6-дюймовый цветной сенсорный экран с интегрированным ПЛК для удобства управления Вакуумметр, измеритель тока распыления и регулятор температуры подложки встроены в сенсорную панель Регулировочные ручки на передней панели для подачи газа и регулирования тока распыления Положение распыления, таймер распыления и регистрация процесса доступны с сенсорного экрана |
|
Экран |
Для дополнительной защиты в комплект входит защитный кожух из нержавеющей стали |
|
Мишени для распыления |
Требования к размерам мишени: диаметр 47 мм × не более 2,5 мм В стандартную комплектацию входят три мишени для немедленного использования: Мишень Au, диаметр 47 мм×0,12 мм Ag-мишень диаметром 47 мм×0,5 мм Медная мишень диаметром 47 мм×2,5 мм В CYKY вы можете заказать различные мишени |
|
Размеры |
440 мм L × 330 мм W × 455 мм H |
|
Вес нетто |
50 кг |
|
Гарантия |
Срок службы ограничен одним годом |
|
Примечания |
ВЫСОКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ! Распылительные головки подключаются к высокому напряжению. В целях безопасности оператор должен выключить оборудование перед загрузкой образца и сменой мишени Данная модель не подходит для нанесения покрытий на легкие металлические материалы, такие как Al, Mg, Zn, Ni и т.д. из-за низкой энергии. Пожалуйста, обратите внимание на наше устройство для нанесения покрытий магнетронным напылением или термическим испарением. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
3 Rotary Target Plasma Sputtering Coater with Substrate Heater
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support