Основные размеры и система измерения гравировки пластины с изображениями

Основные характеристики

Автоматическая загрузка и выгрузка, богатые функции, автоматическая отчетность

Подробная информация

Ключевая система измерения размера и гравировки пластины с изображениями представляет собой оптический прибор для тестирования, который объединяет высокоточное определение размера плоскости и трехмерное измерение морфологии поверхностей субнаномасштабного масштаба. В то же время он обеспечивает высокоточное автоматическое определение широкого спектра мультирегионов, а также его превосходная повторяемость и эффективность эффективно снижают количество человеческих ошибок и затраты на персонал.

В нем используется оптическая линза высокого разрешения в сочетании с высокоточным алгоритмом анализа изображений и реализован принцип измерения вспышки одним щелчком мыши. В режиме ЧПУ просто нажмите кнопку запуска, и прибор сможет автоматически определить местоположение объекта измерения, сопоставить шаблон, измерить оценку и сгенерировать отчет в соответствии с формой обрабатываемой детали, действительно обеспечивающий быстрое и точное измерение в один клик.

В то же время он оснащен системой интерференционного сканирования белым светом, алгоритмами 3D-моделирования и т.д. Для выполнения бесконтактного сканирования поверхности устройства и создания 3D-изображения поверхности, которое может реализовать микро-наноразмерное 3D-сканирование и реконструкцию чипа в направлении Z, и точно измерять высоту и контурные размеры поверхности; полностью автоматическая погрузочно-разгрузочная платформа, оснащенная сканирующим пистолетом, эффективно реализует полностью автоматизированное производство производственной линии.

Полностью автоматическая машина для контроля пластин может широко использоваться в производстве микросхем, полупроводников и упаковки, прецизионных аксессуарах, оптической обработке, микро-наноматериалах и производстве, MEMS-устройствах и других отраслях сверхточной обработки.

Характеристики продукта

Автоматическая загрузка и производство

1. Настройте автоматическую загрузочно-разгрузочную платформу;
2. Настройте высокоточные методы загрузки и разгрузки для достижения высокой степени автоматизации производственной линии;

Для разработки производственной линии, простой в управлении

1. Для удобства управления и эксплуатации можно установить три режима разрешений: оператор, инженер и администратор.;
2. Он может быть подключен к системе управления производственными данными заказчика для облегчения управления данными и их анализа.；
3. Немедленно оцените отклонение размера измерения на месте измерения и сгенерируйте статистический анализ, отчеты о результатах тестирования и т.д. одним щелчком мыши.;

Многофункциональная автоматическая отчетность

1. Программное обеспечение разделено на две части. Среди них метод измерения размера плоского контура изображения разделен на пять функциональных модулей: настройка измерения, измерение поштучно, измерение с ЧПУ, автоматическое измерение и статистический анализ, в то время как метод определения размера трехмерного контура с помощью интерференции белого света разделен на три этапа: настройка измерений, обработка данных и инструменты анализа. Среди них инструменты обработки данных и анализа могут быть предварительно сконфигурированы для выполнения измерений и анализа в один клик.
2. Модуль измерения размеров изображения плоского контура предоставляет до 80 видов инструментов извлечения и анализа, включая инструменты [извлечения объектов] (такие как максимальная точка, дуга осевой линии, окружность пика и т.д.), [вспомогательные инструменты] (такие как окружность произвольной точечной линии, подходящая прямая линия, подходящая окружность, касательная, внутренний круг среза и т.д.), инструменты [интеллектуальная маркировка], инструменты [допуск формы и положения], специальные [инструменты для нанесения] (такие как снятие фаски, закругленные углы, расстояние шага, угол наклона, поперечный диаметр, паз, резьба, пружина, уплотнительное кольцо и т.д.); а модуль 3D-измерений обеспечивает измерение шероховатости и высоты ступеньки, расстояния, объема отверстия и другие инструменты 2D/3D анализа.
3. Автоматически выводите отчеты об анализе SPC и можете выводить статистические значения (такие как CA, PPK, CPK, PPP и т.д.) и контрольные диаграммы (такие как диаграммы средних и экстремальных разностей, диаграммы среднего и стандартного отклонения, диаграммы медианных и экстремальных разностей, диаграммы единичных значений и скользящих экстремальных разностей).

Пример применения

Измерение смещения гравировки набора пластин с изображением

Во время изготовления пластины станция желтого освещения будет выполнять литографирование пластины, а после экспонирования и проявки будет выполнено измерение смещения гравировки, и измеренные данные будут импортированы в обратном порядке и скомпенсированы в литографическую машину, чтобы оптимизировать стабильность процесса литографии пластины для удовлетворения потребностей клиентов в продуктах.

Ключевое измерение размера пластины с изображением

Во время производства пластин ключевые размеры матрицы будут контролироваться несколькими процессами. Программное обеспечение Supervisor автоматически фиксирует края элементов матрицы и одновременно выполняет эффективные и точные измерения, чтобы помочь заказчикам достичь более высокого выхода за более короткий промежуток времени и поддерживать стабильность выхода.

Трехмерное измерение пластины с изображением

При изготовлении пластины, после предыдущей обработки желтым светом, необходимо измерить ширину между нижними канавками частиц сердцевины, чтобы определить, соответствует ли смещение между частицами сердцевины требованиям, и автоматически выбираются несколько параболических линий для получения стабильного среднего значения, чтобы скорректировать параметры пластины. машина для экспонирования в соответствии с требованиями технологического процесса.

Анализ контуров и измерение глубины травления пластин с рисунком

Восстанавливается локальное 3D-изображение пластины, и контур поперечного сечения выгравированной линии извлекается для анализа в соответствии с заданным размером ширины линии и глубиной травления, так что можно судить о целостности контура линейной канавки и наблюдать дефекты дна.

Измерение глубины и ширины канавки после резки пластины с помощью рисунков

После лазерной обработки процесса нарезки кубиками определяются глубина и ширина лазерной U-образной канавки. Ширину профиля можно настроить таким образом, чтобы она соответствовала средней кривой профиля профиля, и можно получить среднее значение глубины и ширины канавки. В соответствии с измеренной глубиной канавки и ширину канавки, отрегулируйте параметры лазерного станка в соответствии с требованиями технологического процесса.