Система измерения геометрии пластин без графиков WD4000

Основные характеристики

Высокоточное измерение толщины, бесконтактное трехмерное интегрированное измерение микро-наноморфологии

Подробная информация

Система измерения геометрии пластин без графиков WD4000 автоматически измеряет толщину пластины, шероховатость поверхности, трехмерную морфологию, толщину однослойной пленки и толщину многослойной пленки. Используйте технологию спектрального конфокального контраста для измерения толщины пластины, TTV, LTV, ИЗГИБА, ДЕФОРМАЦИИ, TIR, SORI и других параметров и одновременного создания картографических карт; используйте технологию интерферометрии белого света для бесконтактного сканирования поверхности пластины и получения трехмерного хроматографического изображения поверхности, отображения 2D поперечного сечения и стереоцветного 3D-изображения, а также эффективно анализировать морфологию поверхности, шероховатость и связанные с ними 3D-параметры; анализатор спектра, основанный на интерферометрии белого света, рассчитанный с помощью численного алгоритма семиточечного фазового сдвига, обеспечивает субнаноразрешение для измерения локальной высоты поверхности и реализации функция измерения толщины пленки; инфракрасный свет, излучаемый датчиком обнаружения, отражается от различных поверхностей пластины и создает помехи. Вычисляется расстояние (т.е. толщина) между двумя поверхностями, которое может быть использовано для измерения толщины многослойного слоя склеиваемой пластины. Датчик может использоваться для измерения толщины различных материалов, включая карбид кремния, сапфир, нитрид галлия, кремний и т.д.

Система измерения геометрии безграфовых пластин WD4000 может широко использоваться в производстве подложек, производстве пластин и тестировании процессов упаковки, электронном стеклянном экране 3C и прецизионных аксессуарах к нему, оптической обработке, дисплейных панелях, MEMS-устройствах и других отраслях сверхточной обработки. Он может измерять все виды поверхностей от гладких до шероховатых, от низкого до высокого коэффициента отражения, а также толщину, шероховатость, плоскостность, микрогеометрические контуры, кривизну и т.д. деталей от НАНО до микронного уровня и предоставлять более 300 видов 2D и 3D-параметров в качестве критериев оценки, основанных на четыре основных отечественных и зарубежных стандарта SEMI/ISO/ASME/EUR/GBT.

Преимущества продукта

1. Комплексное бесконтактное измерение толщины и трехмерной микро-наноморфологии

Встроенный модуль измерения толщины и модуль измерения трехмерной морфологии и шероховатости, измерение толщины, TTV, LTV, ИЗГИБА, ДЕФОРМАЦИИ, шероховатости и трехмерной морфологии может быть выполнено с помощью одной машины.

2. Высокоточная технология измерения толщины

Для эффективного сканирования пластины используется спектральная конфокальная технология "луч-к-лучу" с высоким разрешением.

Благодаря вакуумной присоске с покрытием из электростатического разряда с несколькими степенями свободы технические характеристики пластины могут поддерживаться на расстоянии до 12 дюймов.

Используя технологию Mapping following, она может быть программируемой и включает автоматическое измерение множества точек, линий и граней.

3. Высокоточная технология измерения трехмерной морфологии

Используя технологию интерференции оптического белого света, прецизионный модуль сканирования в направлении Z и высокоточный алгоритм 3D-реконструкции, разрешение в направлении Z может достигать 0. 1 нм；

Уникальная конструкция виброизоляции значительно снижает вибрацию грунта и шум воздушной акустической вибрации и обеспечивает чрезвычайно высокую повторяемость измерений.

Технология машинного зрения обнаруживает многоточечность изображения, а виртуальный прибор корректирует образец, который может автоматически и непрерывно измерять многоточечную морфологию.

4. Крупноходная высокоскоростная платформа портальной конструкции

Портальная конструкция большого хода (400x400x75 мм) с максимальной скоростью перемещения 500 мм/с.

Основание и балка из гранита

Высокоточная, общая структура стабильна и надежна.

Механизм перемещения ключа использует высокоточную линейную направляющую рейку, привод двигателя с прямым приводом сервопривода переменного тока и систему решеток с разрешением 0,1 мкм для обеспечения высокой точности и эффективности оборудования.

5. Простое управление

Джойстик со встроенными функциями регулировки смещения в трех направлениях XYZ позволяет быстро выполнить предварительную подготовку к измерениям, такую как перемещение по этапу и фокусировка в направлении Z.

Он имеет двойную конструкцию защиты от столкновений, позволяющую избежать повреждений, вызванных столкновением объектива и тестируемого объекта из-за неправильной эксплуатации.

Он имеет функцию электрического переключения линз объектива, что делает наблюдение быстрым и простым.

Пример применения

Измерение толщины и коробления пластин без графиков

Измерение шероховатости пластины без графиков

Трехмерное изображение поверхности кремниевой пластины после грубого и тонкого шлифования в процессе утончения пластины использует величину значения Sa шероховатости поверхности и стабильность нескольких значений измерений для оценки качества обработки. Для тонких кремниевых пластин, измеренных в условиях сильного шума производственного цеха, шероховатость тонко измельченных кремниевых пластин составляет около 5 нм, а повторяемость рассчитана как 0,046987 нм на основе 25 данных измерений, и стабильность измерений хорошая.