Измеритель толщины отражающей пленки SR-Mapping

Толщиномер отражающей пленки SR-Mapping - это сверхбыстрый прибор для определения характеристик пленки, который измеряет толщину и оптическую постоянную пленки путем анализа отраженного света на поверхности пленки и отраженного света на границе раздела между пленкой и подложкой.

Общий обзор

В приборах серии SR-Mapping ступенью смещения R-Тета, которая совместима до 6-в-дюймах. Можно быстро отсканировать весь образец и быстро и точно измерить толщину пленки., оптическую постоянную и другую информацию, а также оценить равномерность толщины пленки .

• Решения для измерения оптических пленок;
• Бесконтактное, неразрушающее измерение；
• Основной алгоритм поддерживает анализ тонких и толстых пленок, однослойных и многослойных пленок.；
• Точность измерения повторяемости толщины пленки: 0,02 нм
• Полностью автоматическое измерение, точки измерения и положения могут быть изменены по мере необходимости в рецептуре.
• Используйте высокоинтенсивный галогенный источник света, спектр которого охватывает диапазон ультрафиолетового и видимого света до ближнего инфракрасного; http://www.eoptics.com.cn/u/cms/ygkj/202206/21112427xoje.png
• Использует высокоинтегрированную оптическую и электромеханическую конструкцию, которая отличается небольшими размерами и простотой в эксплуатации. http://www.eoptics.com.cn/u/cms/ygkj/201809/19221513r4et.png
• Основанный на принципе корреляции между отраженным светом на верхней и нижней границах раздела тонкопленочного слоя, он может легко анализировать однослойные пленки до многослойных; http://www.eoptics.com.cn/u/cms/ygkj/202112/18153049go27.png
• Настройка мощных алгоритмов основного анализа: БПФ-анализ толстой пленки, метод подгонки кривой для анализа информации о физических параметрах пленки; http://www.eoptics.com.cn/u/cms/ygkj/201809/19221734fzm5.png

Применение

Он широко используется при измерении пленки различных сред, защитных пленок, органических пленок, неорганических пленок, металлических пленок, покрытий и т.д.

Технические параметры