THEORIS X302P 12-дюймовая вертикальная среднетемпературная печь для окисления

THEORIS X302P в основном используется для 12-дюймового процесса окисления и отжига при температуре 600–1000℃. Эта машина представляет собой вертикальную однокамерную трубчатую систему, а технологический процесс достиг высокой степени автоматизации. Система в основном состоит из модуля передачи, модуля процесса, силового шкафа и других частей.

Технические характеристики

• Передовая технология контроля содержания частиц.
• Высокоточная технология контроля температурного поля.
• Передовая технология контроля содержания кислорода в микросреде.
• Высокая производственная мощность.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: окисление сухим кислородом, окисление влажным кислородом, окисление DCE, окисление, легированное азотом, отжиг.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, материал подложки.