Печь для выращивания монокристаллического карбида кремния, серии SCMP с индукционным нагревом PVT

Область применения: используется для производства монокристаллических подложек из карбида кремния размером 4-8 дюймов.

Описание продукта

• В оборудовании используется система индукционного нагрева с двойной катушкой, которая может реализовать независимое управление движением и силовую нагрузку, а также решить проблему связи осевого и радиального градиента температуры в системе с одной катушкой;
• Также печь оснащена встроенной кварцевой камерой сварной конструкции, автономной системой зарядки, высокоточной технологией контроля температуры и давления, а также высокоточной установкой и позиционированием индукционных катушек для достижения высокой стабильности работы оборудования.