Получение высококачественного монокристаллического алмаза; Получение высококачественных поликристаллических отдельно стоящих алмазных пленок; Получение высококачественных поликристаллических алмазных пленок; Получение различных углеродных нанопленок, таких как графен, углеродные нанотрубки, фуллерены и алмазные пленки.
Технические характеристики
- Плазменное микроволновое оборудование с резонатором из нержавеющей стали мощностью 6 кВт, высокая плотность мощности;
- Охлаждаемая водой подложка и металлическая камера с водяным охлаждением обеспечивают стабильную работу системы в течение длительного времени;
- Температура подложки достигается за счет самонагрева микроволновой плазмы;
- В вакуумметрическом приборе используется вакуумметр полного диапазона, который может точно измерять фоновый вакуум и давление рабочего газа;
- Вакуумный насос и клапан оснащены турбомолекулярным насосом (максимальный вакуум составляет 1 × 10-5 па) и роторно-лопастным механическим вакуумным насосом (максимальный вакуум составляет 1 па), и система может автоматически регулировать давление осаждения;
- Система циркуляции охлаждающей воды для обеспечения долгосрочной безопасной и стабильной работы устройства при высокой мощности;
- 15-дюймовый сенсорный экран, автоматическое управление ПЛК, позволяет устанавливать постоянную температуру или давление, сохранять и повторно использовать до 20 наборов технологических файлов;
Применение
- Получение высококачественного монокристаллического алмаза;
- Получение высококачественных поликристаллических свободно стоящих алмазных пленок;
- Получение высококачественных поликристаллических алмазных пленок;
- Получение различных углеродных нанопленок, таких как графен, углеродные нанотрубки, фуллерены и алмазные пленки.
Полностью автоматический модуль управления технологическим процессом, который позволяет стабильно и надежно получать высококачественные алмазные пленки и кристаллы
Технические параметры
|
Микроволновая система (Микроволновый источник Sairem, Франция) |
микроволновая частота |
2450 ± 25 МГц |
|
выходная мощность |
Непрерывная регулировка 0,6 кВт ~ 6 кВт |
|
|
Настройка микроволн |
3-заглушки Антенна преобразования режима |
|
|
Защита от микроволнового отражения |
Круговая нагрузка на воду |
|
|
Микроволновый режим работы |
TM013 |
|
|
утечка микроволн |
≤ 2 МВт/см2 |
|
|
вакуумная система |
Диапазон рабочих давлений |
10 ~250Torr |
|
Автоматический контроль давления |
40 ~250Torr |
|
|
Вакуумный насос |
Роторно-лопастной вакуумный насос 4,4 л/с |
|
|
Герметичность в вакууме |
＜ 1.0x10-9 Па * м 3 /сек (с помощью гелиевого течеискателя) |
|
|
Способность удерживать давление |
Повышение давления составляет менее 0,2 Торр каждые 24 часа |
|
|
Абсолютный вакуум |
0,1 Па(7,5 x10-4 Торр) |
|
|
Измерение вакуума |
Фирменный пленочный калибр |
|
|
Вакуумный реактор |
Реакторные материалы и конструкции |
двухслойная нержавеющая сталь с водяным охлаждением |
|
Вакуумное уплотнение |
Металлическое уплотнение + кольцевое уплотнение из фторопласта (грузовая дверца) |
|
|
Идентификатор реактора |
φ140 мм |
|
|
Окно таблицы образцов |
Прямоугольное отверстие 105x50 мм, Входная дверь герметизирована уплотнительным кольцом из фтора |
|
|
Окно для часов |
Два порта, Крупнокалиберный алмаз CF35, Распределение на 180 ° |
|
|
Окно измерения температуры |
Горизонтальный угол двух окон составляет 25 ~ 30 °, Распределение на 180 °; Окно удобно для определения температуры на стадии отбора проб по наклонному углу верхней части реактора вниз |
|
|
Стадия отбора проб |
Платформа для подложки с электрическим подъемником с водяным охлаждением φ100 мм,Диапазон регулируемой высоты 0~70 мм |
|
|
При диаметре молибденовой подложки ≥50 мм плазменный огненный шар может покрывать всю стадию подложки при 5000 Вт и 180 об/мин |
||
|
Температура подложки 250~1400 ℃ В зависимости от параметров процесса |
||
|
Газовый канал |
Расходомер и регулирующий клапан импортированы из Японии |
|
|
системный 4-канальный MFC |
||
|
Максимальный расход 4MFC:H2: 1000 куб. см,CH4:100 куб. см,O2:20 куб. см, N2:2 куб. см |
||
|
Система измерения температуры |
Немецкая инфракрасная система измерения температуры Raytek, диапазон температур: 300 ~ 1300 ℃ |
|
|
Системное программное обеспечение |
15-дюймовый сенсорный экран с управлением ПЛК, удобный пользовательский интерфейс |
|
|
Система поддерживает два уровня пользователей: инженера и оператора, а также обеспечивает функцию управления полномочиями пользователей |
||
|
Система оснащена автоматической защитой, такой как нехватка воды, воздуха, сбой фазы электропитания, скачок шаровой молнии, перегрев, воспламенение и так далее |
||
|
Можно установить до 10 наборов технологических рецептур, каждый набор содержит 40 строк данных, производственный процесс автоматически контролируется технологическими рецептурами, а данные процесса могут быть скопированы и экспортированы через U-диск |
||
|
Система поставляется с полностью автоматическим отбором воздуха, зажиганием, нагревом, охлаждением и другими заданными процессами, простыми в эксплуатации для пользователей |
||
|
Полностью автоматический контроль температуры и давления воздуха значительно сокращает рабочую нагрузку системных операторов |
||
Требования к установке системы
Следующие условия установки предоставляются заказчиком:
- Подключение газа
- Рабочий газовый тракт: пользователям необходимо обеспечить четыре канала подачи CH4, H2, N2 и O2, давление газа составляет 0,2 МПа, а чистота газа определяется пользователем в соответствии с требованиями процесса
- Газовый интерфейс: интерфейс видеомагнитофона 1/4 "
- Источник питания
- Напряжение питания: переменный ток 380 В (± 10%), частота 50 Гц, трехфазный четырехпроводный, в помещении имеется независимый провод заземления, эффективность сопротивления заземления составляет 4 Ом, а максимальная мощность - 20 кВт
- Рекомендуется зарезервировать отдельный воздушный выключатель на стене на расстоянии 1 метра от каждого оборудования. Спецификация воздушного выключателя - 4P32A и с защитой от протечек.
- Перед выполнением каких-либо подключений электронная система в системе должна быть отключена.
- Охлаждающая вода
Заказчикам необходимо предоставить собственные промышленные охладители：
- Холодопроизводительность:10 кВт
- Скорость потока:>30л/мин
- Рекомендуемая температура воды на входе:20 ℃,максимальная температура воды на входе<25 ℃
- Давление воды на входе:≥5,0 кг/см2 ) ,,
- Соединение для впуска и выпуска воды в системе:) , ,
- Во избежание проблем, вызванных коррозией, рекомендуется использовать чистую воду
- Потребность в сжатом воздухе для управления системой
- Сжатый сухой воздух (CDA): система должна обеспечивать газовый тракт CDA с давлением газа ≥ 0,4 МПа.
- Интерфейс: быстроразъемный разъем φ 8 (пневматический быстроразъемный разъем)
- Отработанное оборудование
- Заказчикам необходимо подготовить свои собственные выпускные каналы, а выпускной патрубок оборудования соединяется с выпускным каналом через интерфейс KF25.
Проверка перед приемкой
- Утечка из вакуума: скорость утечки из вакуумной камеры составляет менее 0,1 торр / 12ч
- Утечка микроволн: измеренное значение составляет менее 2 МВт/см2 (при мощности микроволн 5 кВт)
- Утечка в водопроводной трубе: убедитесь, что водопроводная труба не протекает
- Проверка системы: система может запуститься и работать нормально, плазменный огненный шар ровный и стабильный
Гарантия
1. Срок получения гранта составляет 12 месяцев с даты принятия системы или 14 месяцев с даты отправки (даты авианакладной), в зависимости от того, что наступит раньше.
2. Гарантия не распространяется на следующее:
- Несанкционированная модификация аппаратного / программного обеспечения.
- Неправильная эксплуатация, о которой не упоминается в руководстве пользователя
- Расходные части
Заказчикам необходимо убедиться, что ход строительства общественных объектов, таких как газоснабжение, электроснабжение и водоснабжение, не повлияет на установку и ввод в эксплуатацию оборудования, а вызванная этим задержка не продлит гарантийный срок.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Experimental, Research MPCVD Grown Diamonds |
По запросу |
JoomShopping Download & Support