Система визуализации Поляризованного напряжения PSI-3000

Технические характеристики

Линейка продуктов PSI разработана для автоматизированных фабрик большой производительности и специализируется на контроле и визуализации дефектов кристаллов, связанных с механическим напряжением в кремниевых пластинах или заготовках.

Особенности и системные спецификации:

• Пользовательский интерфейс SAM2™ (Semilab Automation Manager 2), соответствующий стандарту SEMI® (E95-0200)
• Высокоточный робот для обработки пластин диаметром 300 мм с возможностью выбора концевого захвата или тыльного контакта
• Опция: двустороннее обнаружение частиц на поверхности

Приложения:

• Обнаружение полей напряжений, связанных с дефектами кристаллов, в выращенных кремниевых пластинах или заготовках до состояния пластины.
• Типы дефектов:
  • Локализованные вывихи
  • Линии скольжения
  • Двойные линии
  • Процесс Epi вызвал дефекты кромок