Технические характеристики
|
Размер пластины |
150 мм ~ 200 мм |
|
Функции |
ld / робот / Центрирование / Коатировщик / hp / cp / Uld |
|
Тип робота |
Двойные манипуляторы с системой картографирования (Опция: система портов автоматической загрузки) |
|
Класс чистоты |
Класс 100 с HEPA |
|
Скорость вращения |
50 ~ 5000 об/мин |
|
Ускорение |
8000 об/мин/сек. |
|
Метод дозирования |
Напорный бак или насос N2 (Опция: насос PR для высокой вязкости до 10 000 сПз) |
|
Температура |
30 ~ 200°C |
|
Способ нагрева |
Контактный |
|
Управление системой |
ПК (Опция: доступна CIM / SECS+GEM) |
|
Управление системой |
mitsubishi серии Q |
|
Производительность/час |
До 50 шт. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ELS3608FA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support