Обзор продукции
Патроны и термические системы
Все станции для измерения толщины пластин FormFactor полностью интегрированы с разработанным нами нетепловым зажимом или высоконадежной системой тепловых зажимов от ATT. В зависимости от области применения, температурного диапазона и требований к производительности мы предлагаем широкий выбор тепловых систем с температурой от -60°C до 300°C, от самых мощных и быстрых высокопроизводительных систем на рынке до чрезвычайно экономичных систем, обеспечивающих наилучшее соотношение цены и качества.
Все наши системы никелированы или позолочены и гарантируют превосходные электрические характеристики. Наши запатентованные технологии MicroVac™ и FemtoGuard™ обеспечивают повышенную точность измерений и сверхнизкое контактное сопротивление пластин даже для деформированных/тонких пластин.
Модульная концепция для удобного и экономичного обновления системы обеспечивает максимальную сохранность инвестиций и простоту настройки.
Системы с полным температурным диапазоном (от -60°C до 300°C)
- Самые мощные и быстрые высокопроизводительные системы для выполнения самых сложных задач
- Самые короткие сроки перехода на рынке
- Дополнительный режим ECO для более низкого расхода воздуха (CDA), чем у других систем на рынке (365 л/мин)
Экономичная тепловая система (от -40°C до 300°C)
- Потребление воздуха (CDA) на 25% ниже, чем у других систем на рынке (300 л/мин)
- Режим питания: на 15% быстрее, чем у других систем на рынке
- Оптимальное соотношение цены и качества для систем с широким диапазоном температур
Системы только с подогревом (+20°C/+30°C до 300°C)
- Модульная и пригодная для модернизации в полевых условиях для работы при низких температурах (-40°C или -60°C): адаптируется под ваши потребности
- Технология контролируемой окружающей среды (+20°C): точный контроль температуры даже при температуре ниже окружающей без необходимости использования дополнительного охладителя
Помимо наших передовых коаксиальных и триаксиальных систем зажимов, наше портфолио дополняют следующие специализированные зажимы:
- ВЧ/СВЧ-держатели, оснащенные тремя дополнительными держателями для калибруемых подложек и/или чистящих дисков
- Высокопроизводительныепатроны с возможностью обработки пластин Taiko, защитой от искрения и системой автоматической разрядки для высокой производительности и точности измерений, а также для обеспечения безопасной среды тестирования, сертифицированной регулирующими органами
- Двухсторонние зажимы: запатентованная двухсторонняя конструкция может быть настроена для фиксации различных типов и размеров подложек. В основном используется в системах эмиссионной микроскопии, но также может применяться для фиксации специальных подложек, в том числе пластин MEMS, закреплённых на квадратных металлических держателях.
Гибкость
- Гибкость применения: коаксиальный, триаксиальный, радиочастотный/миллиметровый, высокой мощности, двусторонний
- Температура варьируется от -60°C до +300°C
- Поверхности никелированы или позолочены
- Конструкция гибридного патрона – эксплуатация с охлаждающим устройством и без него
- Возможность модернизации на месте: холодная модернизация на месте для всех основных платформ пробоотборников
Высочайшая эффективность при снижении стоимости тестирования
- Потребление воздуха (CDA) на 25% ниже, чем у других систем на рынке, без ущерба для времени перехода
- Время перехода до 15% быстрее, чем у других систем, представленных на рынке
Низкое тепловое сопротивление
- Технология с низким термическим сопротивлением
- Мультисенсорная система с несколькими датчиками температуры
- Максимальная точность и однородность температуры
Превосходные электрические характеристики
- Изолированы от земли
- Включает разъем для заземления и смещения
- Высокоплоская поверхность патрона обеспечивает постоянное усилие контакта и перетягивание
Запатентованная технология MicroVac ™
- Усовершенствованная вакуумная система для пластиндля деформированных/частично тонких пластин
- Обеспечивает равномерный вакуум по всей поверхности пластины
- 495 микроотверстий диаметром 200 мкм по всей поверхности патрона
- Пять выбираемых пользователем вакуумных зон: даже частичные пластины, которые не закрывают все вакуумные отверстия, удерживаются с помощью равномерного вакуума
- Повышенная точность измерений благодаря равномерному рассеиванию тепла устройством и сверхнизкому контактному сопротивлению пластины
Запатентованный FemtoGuard ™ ТЕХНОЛОГИЯ
- Передовая технология экранирования
- Обеспечивает сверхнизкий уровень шума, полностью защищенные измерения и контролируемую утечку
- Низкая остаточная емкость для обеспечения повторяемости и повышенной точности и скорости измерений
Интеллектуальное управление сухим воздухом
- Активное управление продувкой CDA для снижения расхода сухого воздуха
Вспомогательные патроны
- Специальные RF-держатели поставляются с тремя дополнительными держателями для калибровки подложек и/или чистящих дисков
- Доступны различные материалы: Сталь, Амортизатор, керамика
JoomShopping Download & Support